Титановые мишени для распыленияявляются ключевыми материалами в технологии физического осаждения из паровой фазы (PVD), особенно в процессе напыления покрытия. Они изготавливаются из титанового сырья и широко используются в высокотехнологичных отраслях, таких как электроника, информационные технологии, декоративные области и производство автомобильных стекол. В этих приложениях титановые мишени специально применяются для покрытия интегральных схем, поверхностного покрытия плоских дисплеев или в качестве слоев покрытия для декоративного и функционального стекла.
Основные требования к производительности титановых мишеней для распыления
Характеристики титановых мишеней напрямую определяют качество наносимых пленок и производительность конечных устройств.
Чистота: Чистота является одним из наиболее важных показателей качества целевого материала и существенно влияет на характеристики пленок. Требования к чистоте сильно различаются в зависимости от применения. Тенденция в производстве чипов такова, что кремниевые пластины становятся больше, а линии схемы становятся тоньше. Размер кремниевых пластин был увеличен до 12 дюймов, а ширина проводки постепенно уменьшилась до 0,25 мкм, 0,18 мкм и 0,13 мкм. Поэтому требования к чистоте основного материала (титановой мишени) становятся все более строгими. Для процесса 0,35 мкм требуется целевой материал чистотой 99,995 %, а для процесса 0,18 мкм необходим целевой материал чистотой 99,999 % или даже сверх-высокой чистоты.
Содержание примесей: Примеси в твердом веществе мишени, а также кислород и пары воды, адсорбированные во внутренних порах, являются основными источниками загрязнения осажденных пленок. Различные приложения имеют чрезвычайно строгие ограничения на содержание конкретных примесей. Например, к чистому алюминию и алюминиевым сплавам, используемым в полупроводниковой промышленности, предъявляются чрезвычайно строгие специальные требования по содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.
Плотность: Высокая плотность имеет решающее значение для уменьшения внутренних пор в целевом материале и улучшения характеристик напыленных пленок. Плотность материала мишени не только влияет на скорость распыления, но также существенно влияет на электрические свойства (например, удельное сопротивление) и оптические свойства пленок. Вообще говоря, чем выше плотность, тем лучше качество пленки. В то же время высокая плотность и высокая прочность позволяют целевому материалу лучше противостоять тепловым нагрузкам в процессе распыления, снижая риск растрескивания. Таким образом, плотность является ключевым показателем производительности для измерения качества целевого материала.
Размер зерна и распределение: Размер зерна целевого материала варьируется от микрометров до миллиметров. Эффективность распыления мелкозернистых-мишеней выше, чем у крупнозернистых-мишеней. Целевые материалы с одинаковым размером зерна с большей вероятностью образуют осажденные пленки одинаковой толщины, что является ключевой гарантией производительности в процессах-покрытия плоских дисплеев большой площади.
Применение титановых мишенных материалов
Полупроводниковая промышленность: Титановые мишени могут использоваться для производства электронных компонентов, таких как фотодиоды, фототранзисторы, фотоприемники и передатчики и т. д.
Оптоэлектронная область: Титановые мишенные материалы можно использовать для производства оптоэлектронных устройств, таких как светодиоды, солнечные элементы и т. Д.
Область магнитных материалов: титановые мишени можно использовать для изготовления жестких дисков, магнитных карт и т. д.
Другие области высоких-технологий. Титановые мишени также широко используются в жаропрочных-сплавах, проводящих материалах, химических катализаторах, медицинском оборудовании и т. д.
В этих областях требуются не только материалы с высокой прочностью и коррозионной стойкостью, но также стабильные химические свойства и биосовместимость. Титановые мишенные материалы точно отвечают этим требованиям и стали важным материалом в этих областях.
Компания новых материалов Баоцзи Ибайтэ, ООО- поставщик титановых мишенных материалов в Баоцзи, Китай